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“十五五”开新局丨国投集团中国电子院:以创新攻坚破局 跑出高端制造“加速度” 下载

【发布时间:2026-06-17】

“加快高水平科技自立自强,引领发展新质生产力”是我国“十五五”时期重要战略任务。国投集团积极服务国家战略,推动科技创新与产业创新深度融合,充分发挥中国电子工程设计院股份有限公司(简称“国投集团中国电子院”)电子信息产业平台作用,瞄准产业痛点超前布局,以实干攻坚突破技术壁垒,在雄安建成全球首个纳米级微振动实验室,推动科研成果向现实生产力加速转化,在“十五五”开局中跑出“加速度”。

“稳住了!”2026年3月16日,在雄安新区创新研究院科技园的实验室内,随着传感器数据趋于平稳,测振仪屏幕上的曲线渐渐收敛,振动幅值稳定在纳米。这一天,由国投集团中国电子院自主研发建设的全球首个纳米级微振动实验室正式投运,攻克了中国高端精密制造领域又一项“卡脖子”技术,打破了长期以来国外垄断局面。

硬核技术的突破,从来不是一蹴而就的奇迹,而是脚踏实地的探索和攻坚。国投集团中国电子院积极发挥电子信息产业服务“国家队”作用,以“实”谋远、以“实”攻坚,高标准建设科技创新平台,撬动产业发展多点开花,为助力国家解决“缺芯少屏”难题发挥关键性作用,在“十五五”开局中跑出“加速度”。

落子雄安:一场瞄准产业痛点的超前布局

微振动,是高端制造领域公认的“隐形杀手”。 芯片光刻、精密光学、航空航天……几乎所有尖端制造环节,都绕不开微振动这个“命门”。然而长期以来,我国在微振动领域缺乏自主标准,高端设备依赖进口,核心数据被“卡脖子”。

“光刻机国产化已经提速,微振动控制标准如果跟不上,整个链条都会被卡住。”国投集团首席科学家,国投集团中国电子院党委书记、董事长娄宇介绍,公司坚决落实国投集团战略部署,积极建设电子信息产业科技创新平台,坚持按照国家级标准建设国投(雄安)实验室。“我们的核心目标就是要解决国家最需要的、产业最关切的痛点问题。”

2024年12月18日,国投(雄安)先进电子制造产业创新有限公司在雄安注册成立,正式启动雄安实验室建设。这方实验室的落地,既是立足国家战略、深耕核心领域的长远落子,也是贯通“基础研究-工程化-产业化”链条,打通“最后一公里”的关键一步。

雄安实验室聚合纳米级微振动控制、洁净技术、光电技术三大核心能力,精准补齐我国先进电子制造受控环境领域的平台空白,打破国外技术与设备垄断,自主掌控精密环境控制核心能力,构建行业标准体系,为国内高端精密制造提供统一可靠的“标尺”。

雄安实验室集聚了国投集团在先进电子制造领域的科创研发、人才培育、成果转化三大平台,“国投集团先进电子制造受控环境实验室”“国投集团科技创新人才培养示范基地”双双挂牌,打造产学研用融合创新高地,推动科研成果产业化落地,让科技创新能力转化为产业驱动力、竞争力。目前,实验室已为来自国内外的多家主动隔振器厂商、精密设备企业完成设备测试,量身定制了符合微振动控制要求的标准。

纳米攻坚:一群科研人的逐毫较真之路

硬核技术的突破,从来不是一蹴而就的奇迹,而是一群科研人日夜坚守、逐毫较真的结果。2025年初,国投集团中国电子院党委紧扣融合攻坚部署,梳理形成“21件大事”攻坚清单,班子成员带头领责。

“测不出来,就造不出来。”这是国投集团中国电子院首席技术官、雄安实验室项目核心负责人杨光明常挂在嘴边的话。精密测量的精度,直接决定了高端制造的上限。实验室建设之初,选址与基建便是第一道难题。为满足纳米级实验的极致环境要求,杨光明带领团队实地摸排多个场地,逐一检测周边振动、气流、地质等核心数据,反复比对筛选最优场址。确定场地后,复杂的建筑结构改造、高难度桩基工程接踵而至。杨光明全程驻场督导,扎根施工现场,逐一打通建设堵点,成功攻克地基处理核心难题。

为了让实验台真正适配国内企业生产场景,微振动技术中心主任金春峰带领团队深入各大半导体、航空航天企业生产车间,近距离观测大型精密设备重量、尺寸、运行参数等核心数据,掌握产业发展需求。团队发现国内半导体大型设备普遍重达十几吨,而现有微振动测试平台普遍台面偏小、承载能力不足,面对半导体整机装备、卫星全尺寸载荷这类大型精密设备,无法整机组装上台测试,只能拆件分测、数据拼接,严重制约国产高端装备定型与量产。历时一个多月调研,团队最终敲定平台台面尺寸达4米×4米,振动幅值范围覆盖0.001gal-5gal,频率范围扩展至1Hz-100Hz的实验台设计方案,可承载20吨的测试载荷,这填补了全球超大尺寸微振动实验台的空白,纳米级的精度规格刷新了国际行业纪录。

从零突破的背后,是日复一日的奔波与坚守。为统筹北京研发与雄安建设工作,金春峰经常奔波在京雄两地,每日清晨六点从北京出发,奔赴雄安施工现场督导进度、解决技术难题,深夜忙完工作再返程回京,次日依旧准时到岗攻坚。“既然产业有缺口、有需要,咱们就铆足劲啃下来!”凭着这份信念,金春峰和团队在无人涉足的领域勇闯新路。

实验台的调试是一场与细节的较量。为实现极致控振精度,国投集团中国电子院首席科学家冯德民院士直接把家搬到了雄安,充分发挥“师徒制”优势,面对面答疑、手把手带教,指导团队调试设备,开展数据论证工作;吴耀辉、邢云林、许照刚、颜枫等核心科研人员,形成了老中青“传帮带”的联合攻坚团队,挑大梁,闯难关,自主研发空气弹簧主动隔振系统,全力打造极致稳定的实验环境。攻坚阶段,实验室彻夜通明,团队24小时轮班值守,反复采集台面不同点位的振动数据,逐纳米校准参数。

“差一纳米,就可能影响整个实验结果,我们不能有丝毫马虎。”冯德民说。

凭着极致严谨的“工程师精神”,团队历经上千次调试优化,成功攻克了隔振、激振核心关键技术,将环境振动降低两至三个VC等级,相当于在实验台面上创造出了一个近乎绝对静止的环境,可大大提升国产光刻机、卫星载荷精密传感器等核心部件测试的稳定性,从而提升生产良品率。

实现转化:以科技创新引领产业升级

“要加快把平台优势转化为产业赋能能力,把雄安实验室建设成为具有强劲驱动力的科技创新策源地和产业高地。”2026年5月28日,国投集团董事长、党组书记付刚峰赴雄安实验室调研时提出了明确要求。

雄安实验室的建设不仅聚焦“创新链”,形成了一系列科研成果,还瞄准“产业链”,推动成果转化为现实生产力。

实验室建设过程中已成功申请专利14项,取得软件著作权4项,形成了微振动试验方法、隔振装置评价方法。与此同时,团队自主研发生产的主动控制隔振器已完成中试、正交付客户试用。这款产品可放置于扫描电镜、半导体加工设备等精密仪器下方,主动隔离地面振动,以保证精密仪器的稳定性。

“这项技术我们深耕多年,一直未能产品化,来到雄安后,技术快速转化为面向市场的产品,让我们对未来更有信心。”杨光明说。

目前,雄安科创平台效能持续释放,纳米级微振动实验室承接国内外各类精密测试业务,洁净技术实验室稳步推进验证工作,光电技术实验室加速建设成型,一个复合型、高水平的国家级科创高地已然成型。

“我们联动各地高校和实验室,吸引大家聚集于此,最终形成产业集群。”杨光明说。雄安重点发展的空天信息、人工智能、未来集成智能等产业,是微振动控制的主要服务对象。“我们的目标清晰而坚定:立足雄安,服务全国,用微振动控制技术为中国精密制造保驾护航。”

不仅仅是雄安纳米级微振动实验室的建设,在半导体、新型显示、工业软件等领域,国投集团中国电子院也实现了多点突破。今年,国投集团中国电子院还与季华实验室建立全面战略合作,共同打造国家级泛半导体产业高端装备试验验证平台,推进显示制造装备、泛半导体装备以及核心零部件的国产化替代进程与产业化落地,助力我国显示产业实现自主可控。

“‘十五五’期间,我们将积极发挥国投集团服务国家电子信息产业发展平台、半导体产业发展和专业化投资运营管理平台作用,持续完善创新体系、增强创新能力,推动更多原创技术、重大成果涌现出来,赋能中国高端制造跑出‘加速度’。”娄宇说。

(来源:国投集团)